Ceramic Products

ROBOT HAND–VACUUM

용도

반도체 제조공정에서 실리콘 웨이퍼, MLCC 생산용 전자 부품 칩 등을 흡착 이송하는 ARM

특성

CERAMIC소재 내열성, 내마모성, 내화학성, 가공성 등이 동일함

반송TYPE
반송SIZE
두께
재질
표면처리
Wafer , Sapphire wafer
3"~12" (100mm~300mm)
1.6mm~3mm
Alumina( Al2O3), AL, Titanium
도전성 테프론 코팅( 106 ~109 ), 107, 108 지정가능

* 다양한SIZE 대응이 가능하며 고객사 대응용 개발도 가능합니다.

ROBOT HAND–FORK TYPE

용도
반도체 제조공정에서 실리콘 웨이퍼, LCD등을 HAND TIP 이용하여 이송하는 BLADE
특성
CERAMIC소재 내열성, 내마모성, 내화학성, 가공성 등이 동일함
반송TYPE
반송SIZE
두께
재질
표면처리
Wafer
8"~12" (200mm~300mm)
1.6mm~5mm
Alumina( Al2O3), AL, CFRP, PEEK
PTFE, PTA, 도전성 테프론 코팅( 106 ~109 ), 107, 108

* 다양한SIZE 대응이 가능하며 고객사 대응용 개발도 가능합니다.

QUARTZ PRODUCT

QUARTZ란?
순수한 규산(SiO2)로 이루어진 유리로 불순물이 수백ppm 이하인 고순도의 규산을 약2,000℃ 이상에서 용융하여 제조한 유리를 QUARTZ (석영유리)라고 한다.
특성
  • 빛을 잘 통과 시켜 눈에 보이는 가시광선 ,자외선,적외선까지 넓은 파장 범위에서 양호한 투과특성을 가지고 있음
  • 순도가 높은 SiO2 금속 불순물을 극히 미량만 포함하고 있어서 열에 강한 연화점이 약 1700℃로 매우 높아 1000℃ 정도의 고온까지 사용 할 수 있음
  • 뛰어난 내화학성, 내약품성을 가지고 있음

POROUS CHUCK

Porous ceramic?
주성분은 Al2O3구성되며 다공질기공 생성하여 흡착을 통해 다양한 부착물을 흡착할수 있는 세라믹입니다.
Porous ceramic 특성
  • ceramic 소재의 특성을 살린 산 및 알카리에 대한 내화학성 ,내마모성 , 내부식성에 열 충격에
강한 높은 내열성이 있음
  • 가공성이 좋고 압력강도 및 평탄도가 우수하며 기능성물질의 코팅 및 고정이 가능함
Product Structure
Ceramic Porous Chuck
Size
4”
6”
8”
12”
Flatness
2~5㎛
2~5㎛
2~5㎛
2~5㎛
Pore
30~40㎛
30~40㎛
30~40㎛
30~40㎛
Porosity
35~40%
35~40%
35~40%
35~40%
Antistatic
106 ~109
106 ~109
106 ~109
106 ~109
Base Material
AL / SUS / CERAMIC
AL / SUS / CERAMIC
CERAMIC
CERAMIC
Ceramic Porous Chuck Table
Size
200x250mm
400x450mm
650x530mm
1490x930mm
Flatness
15~20㎛
20~40㎛
40㎛
40~70㎛
Pore
30~40㎛
30~40㎛
30~40㎛
30~40㎛
Porosity
35~40%
35~40%
35~40%
35~40%
Antistatic
106 ~109
106 ~109
106 ~109
106 ~109
Base Material
AL / SUS / CERAMIC
AL / SUS / CERAMIC
AL
AL

· 기공 사이즈 및 기공율 : 5~70㎛ / 26%~70% 범위 내 제작 가능
· BASE 재질 : Aluminum / Stainless Steel / Ceramic
                       > 평탄도 20㎛ 이상 → Aluminum / Stainless Steel 권장 사용
                       > 평탄도 2~5㎛ → Ceramic 권장 사용

고객사 납품사례

ROBOT HAND

CERAMIC RING TYPE

CERAMIC ETC.